1. 集成電路焊接工藝的超聲波壓焊法
60年代初,超聲波焊接技術開始應用於集成電路的內引專線焊接。超聲波屬壓焊的原理是由超聲波發生器產生幾十千赫的超聲振盪電能,通過磁致伸縮換能器產生超聲頻率的機械振動。壓焊劈刀鑲在端部的適當位置上,劈刀必然同時產生一種稱為交變剪切應力的機械振動。同時,在劈刀上端施加一定的垂直壓力,在這兩種力的共同作用下,通過時間的控制使劈刀下的鋁絲發生有規律的蠕動。鋁絲和晶元鋁焊區表面的氧化膜受到破壞,同時由於摩擦,在界面上產生一定的熱量使焊接處的鋁絲和晶元上的鋁焊區都產生一定的塑性形變,使鋁原子金屬鍵緊密接觸而形成牢固的鍵合。超聲波壓焊是用鋁絲(一般含硅1%)作引線,工作溫度又低,不但廣泛用於各種電路的內引線焊接,而更適於對溫度要求嚴格的 MOS器件、微波器件和高頻器件的內引線焊接。超聲壓焊法的工藝條件要求嚴格。
為得到高抗拉強度的焊接點須選擇最佳的焊接條件,這取決於超聲振動功率、壓力和超聲振動時間等因素,要使三者之間相互匹配,壓焊設備應調整出最佳工作點進行焊接。