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集成電路光刻

 發布時間：2025-06-10 15:57:30

⑴ 為何集成電路的製造用光刻而不用電子刻

哪個告訴你，集成電路的製造不用電子刻。

現在製造晶元的流程中，刻蝕就有光回刻和電子束刻蝕好吧。而答且電子束波長極短，跟光刻相比解析度要好很多。只不過電子束刻蝕速度極慢，而且設備昂貴，沒辦法量產而已。又不是真的不用。

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