碳納米管電路

『壹』 碳基集成電路將用什麼設備來加工

所謂的碳基集成電路，就是以碳納米管晶體管（簡稱CNT FET）為核心元件的晶元，前面的回答，對什麼是碳納米管晶體管以及用什麼設備加工，避而不談，所以不請自來，強答一發。先了解什麼是碳納米管晶體管。

還有許多概念產品，這里不一一列舉了，不過這些碳納米管晶體管萬變不離其宗：都有源極、漏極和柵極等晶體管的基本構件；碳納米管是核心器件，硅晶圓從過去的主角（核心材料），退居龍套位置（做襯底），即核心材料變了；更重要的是，核心材料變了，相應的半導體設備也會被淘汰，現有的光刻機派不上用場，因為碳納米管是「長出來的」，不是「刻」出來的，ASML現有的技術積累派不上用場，有希望化解我們一直以來在高端光刻機上被卡脖子的問題。原因很簡單，碳納米管晶體管器件製作，相應的集成電路製造，需要用到新工藝，面臨新挑戰，國內外站在一條起跑線上。