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集成電路氟

 發布時間：2023-02-21 15:29:19

㈠ 金屬表面含氟什麼作用

金屬氟化物穩定性好，特別是一些高熔點金屬氟化物，熱穩定性強。例如六氟化鎢、六氟化鋁、五氟化鉭、四氟化鈦等。主要用於超大規模集成電路作CVD成膜材料,能滿足使用要求。

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