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集成电路光刻

 发布时间：2025-06-10 15:57:30

⑴ 为何集成电路的制造用光刻而不用电子刻

哪个告诉你，集成电路的制造不用电子刻。

现在制造芯片的流程中，刻蚀就有光回刻和电子束刻蚀好吧。而答且电子束波长极短，跟光刻相比分辨率要好很多。只不过电子束刻蚀速度极慢，而且设备昂贵，没办法量产而已。又不是真的不用。

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