集成电路氟_金属表面含氟什么作用

㈠金属表面含氟什么作用

金属氟化物稳定性好，特别是一些高熔点金属氟化物，热稳定性强。例如六氟化钨、六氟化铝、五氟化钽、四氟化钛等。主要用于超大规模集成电路作CVD成膜材料,能满足使用要求。

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